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行业资讯

DAS废气洗涤塔


   自1991年以来DAS环境专家开发和生产端特定的废气处理设施使用方面。回顾表明:DAS洗涤塔总是与市场的创新和我们的客户的需要进行进一步的发展。

我们提供燃烧废气减排/湿系统产品线的逃脱,苏合香,UPTIMUM和大、热/湿系统从云杉产品线以及湿式洗涤器系统从AQUABATE,柳树行。落叶松是金属有机化学气相沉积过程的高效废气治理解决方案。高度粒子污染废气可以减弱与收尘和静电冷凝分离系统EDC或杜松。监控系统甚至DASMON确保客户在晶圆厂许多数以百计的系统中,可以监视他们的机器。


  DAS废气洗涤塔已被证明在全球半导体行业20多年来,满足最高标准的质量、安全和空气污染的要求要求德国法律(TA空气)。基于这些核心竞争力我们开发和生产使用方面对废气洗涤塔流从1 m³/ h - 3600 m³/ h为各种行业。原则上,DAS洗涤塔治疗可压缩的,易燃、腐蚀性、活性、毒性和/或自燃的气体(e . g .硅烷偶联剂、硅烷有机物、松油醇、氢、氨、氢卤化物)和粉尘

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